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[SA.3]

Vacuum Pumps　　　　　　　　　：Oil free(Rotary type)
Pumping speed　　　　　　　　　：3 [㎥/h]
Final pressure（ABS）　　　　　  ：120 [hPa]

[SB.6,SB10]

Vacuum Pumps　　　　　　　　　：Oil free(Rotary type)
Pumping speed　　　　　　　　　：6～10 [㎥/h]
Final pressure（ABS）　　　　　  ：120 [hPa]

[SB.16,SB.25,SB.40]

Vacuum Pumps　　　　　　　　　：Oil free(Rotary type)
Pumping speed　　　　　　　　　：16～40 [㎥/h]
Final pressure（ABS）　　　　　  ：120 [hPa]

[LB.3]

Vacuum Pumps　　　　　　　　　：Oil lubricated(Rotary type)
Pumping speed　　　　　　　　　：3 [㎥/h]
Final pressure（ABS）　　　　　  ：2 [hPa]

[LB.6,LC.12,LC.20]

Vacuum Pumps　　　　　　　　　：Oil lubricated(Rotary type)
Pumping speed　　　　　　　　　：6～20 [㎥/h]
Final pressure（ABS）　　　　　  ：2 [hPa]

[LC.25,LB.40,LB.60,LC.106]

Vacuum Pumps　　　　　　　　　：Oil lubricated(Rotary type)
Pumping speed　　　　　　　　　：25～100 [㎥/h]
Final pressure（ABS）　　　　　  ：0.5 [hPa]

[DB.2D,DC.4D,DC.8D,DC.16D]

Vacuum Pumps　　　　　　　　　：Oil sealed lubricated
　　　　　　　　　　　　　　　　　　(Rotary type)
Pumping speed　　　　　　　　　：2～16 [㎥/h]
Final pressure（ABS）　　　　　  ：0.005 [hPa]

[RD.2D,RC.4M,
　　　　RC.4D,RC.8M,RC.8D]

Vacuum Pumps　　　　　　　　　：Oil sealed lubricated
　　　　　　　　　　　　　　　　　　(Rotary type)
Pumping speed　　　　　　　　　：2～8 [㎥/h]
Final pressure（ABS）　　　　　  ：0.01 [hPa]

[LB.5WR,LB.25WR,
　LB.40WR,LB.60WR,LB100WR]

Vacuum Pumps
(with high water vapor tolerance)：Oil lubricated(Rotary type)
Pumping speed　　　　　　　　　：5～100 [㎥/h]
Final pressure（ABS）　　　　　  ：2 [hPa]

[TSA.40～TSA.1100]

Side channel blowers
Pumping speed　　　　　　　　　：40～550 [㎥/h]
Final pressure　　　　　　　　　  ：60～250 [hPa]
Maximum Pressure　　　　　　　：65～350 [hPa]

[ZA.12～ZA.100P]

Vacuum Pumps and Compressors：Oil Free(Piston Type)
Pumping speed　　　　　　　　　：12～100 [㎥/h]
Final pressure（ABS）　　　　　  ：10 [hPa]
Maximum Pressure　　　　　　　：3000 [hPa]

[ACCESSORIES]

A wide line of accessories is availabe
for all vacuum application